磁控溅射机
紧凑磁控溅射镀膜机AP-MMS1 上海载德半导体
人气:712  销量:0  评价:0
单价 0.00
库存 100件
品牌 未填写
  • 商品详情
  • 评价详情(0)
  • 交易记录(0)



       磁控溅射镀膜机 - 紧凑,适合科研,极高性价比!

型号:AP-MMS1

产地:韩国原装进口

 

仪器特点:

1/ 沉积材料:金属、氧化物等;

2/ 膜厚均匀性:≤ ± 5 % (4英寸基底);

3/ 沉积方式:直流磁控溅射,射频磁控溅射;

4/ 极限真空:5.0 x 10 -6 Torr;

 

技术规格:

1/ 最大样品尺寸:6英寸;

2/ 基底旋转:0~10rpm;

3/ 不锈钢腔体,ID250 x H300 mm;

4/ 真空泵:机械泵,150L/Min;

5/ 靶枪:2英寸直径 (选配:3英寸);

6/ 直流电源:2KW(800V - 2.5A);

7/ 气体传输模块:MFC控制,氩气,100sccm;

联系方式