1)全球最优 高纯度单晶硅材质
2)全球独创 双梁悬浮式 MEMS 结构
3)全球第一 超高过压性能
4)全球最小 1kPa 标准量程
产品参数:
量程与输出
膜盒 | 压力量程 | 满量程电压 (mV,a+5V) |
MD1 | 1kPa | 17 |
MD2 | 6kPa | 62.5 |
MD3 | 40kPa | 99.5 |
MD4 | 100kPa | 22.5 |
MD5 | 200kPa | 45 |
MD6 | 400kPa | 90 |
MD7 | 4MPa | 150 |
MD8 | 40MPa | 120 |
特性参数
(在I=0.3mA,T=23℃下测量)
参数 | min | typ | max | Unit |
桥阻 | 9.5 | 10 | 10.5 | kΩ |
偏移电压 | -3 | 0 | +3 | mV / V |
供电电压 | - | 3 | 10 | V |
供电电流 | - | 0.3 | 1 | mA |
桥阻的温度系数 | 0.5 | 0.8 | 1.2 | %FS/10K |
零点的温度系数 | -0.04 | ±0.06 | +0.08 | %FS/10K |
满点的温度系数 | -0.05 | -0.08 | -0.15 | %FS/10K |
温度零点回差(42h)
(30℃~135℃~30℃)
|
0.02 | 1 | 2 | uV / V |
静压特性 | - | ≤0.03 | - | ±%FS/10MPa |
长期稳定性
(1000h,135℃)
|
- | ≤3 | ±5 | uV / V |
非线性 | - | ≤1% | - | ±%FS |
灵敏度 MD1-MD2 |
6 | 8 | 10 | mV / V |
灵敏度 MD3-MD8 |
15 | 20 | 25 | mV / V |
工作压力(静压)
膜盒 | 过压(背面) | 过压(正面) |
MD1 | 1MPa | 1.5MPa |
MD2 | 1.5MPa | 2.5MPa |
MD3 | 2MPa | 3.5MPa |
MD4 | 10MPa | 10MPa |
MD5 | 10MPa | 10MPa |
MD6 | 10MPa | 10MPa |
MD7 | 13MPa | 20MPa |
MD8 | - | 100MPa |