半导体专用温控装置系列产品

CHILLER PRODUCTS

半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备； 研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，显著地提高了chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

产品特点： 

• 加载情况下控温精度优于±0.3℃，可在-20℃～90℃任意工况切换，具有良好的温度跟随性；

• 采用先进的节能技术，利用变频器实现压缩机和水泵的节能减耗；

• 设备具有故障、性能自诊断功能，并可实现远程诊断及维修； 

• 先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥发； 

• 符合SEMI标准和CE标准，可根据客户需求定制产品；

应用领域：

半导体、LCD、LED