TX-A 系列 X-A系列可加热和制冷 无锡溥汇机械冷水机

客户选择TX-A系列是因为其紧凑的尺寸，精确的温度控制和其高可靠性。 TX-A系列可加热和制冷。您也可以选择一个更宽控温度范围，或为您定制一个特殊的配置。 

【应用领域】

• 半导体设备 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,metal,EXELAN)
• 激光设备
• 分析设备
• 扫描电子显微镜
• Turbo或扩散泵
• 太阳能/平板显示器
  
  
  

  【性能参数】
  ●低温可到-40℃
  ●磁耦合泵,无泄漏
  ●使用环保可替代冷媒
  ●可远程控制(CMS)
  ●对应各主机厂商通信协议

  【产品规格】

TX-30S

 

【性能参数】

●水/液体热交换器,高温可到200℃
●超级节能
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议

【产品规格】

型号	TX-30S
温度控制	温度控制范围 :+30℃～+110℃（FW：facility water； 200℃:Optional） 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG
泵	TX-30SGLI: 磁耦合泵 1.5Kw； 20 liter/min at 0.50MPa 30SDII : 不锈钢泵 2.2Kw；50 liter/min at 0.75MPa
热交换能力	5kw @+30℃～+110℃
加热丝	6Kw
外形尺寸	485（W）×760（D）×1300mm（H）
重量	约120Kg
电源	3相AC208V(380V) 30A

 

TX-20A

 

 

【性能参数】

●低温可到-20℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,metal,EXELAN)

【产品规格】

型号	TX-20A
温度控制	温度控制范围 : -20℃～+35℃ 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG
泵	1.1Kw磁耦合泵 20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
冷冻机	冷却能力:2kw @-10℃ 冷媒:HFC 冷却水:14L/min @+25℃
加热丝	4Kw
外形尺寸	484（W）×675（D）×1200mm（H）
重量	约120Kg
电源	3相AC208V(380V) 30A

【冷却能力曲线】

 

TX-20AL

 

 

【性能参数】

●低温可到-40℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议

【产品规格】

型号	TX-20AL
温度控制	温度控制范围 : -40℃～+35℃ 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG
泵	1.1Kw磁耦合泵 20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
冷冻机	冷却能力:2kw @-10℃；500w @-40℃ 冷媒:HFC 冷却水:14L/min @+25℃
加热丝	3Kw
外形尺寸	484（W）×675（D）×1200mm（H）
重量	约120Kg
电源	3相AC208V(380V) 30A

【冷却能力曲线】

TX-2020A

【性能参数】

●双循环通道
●低温可到-20℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议

【产品规格】

【冷却能力曲线】

TX-2020AL

【性能参数】

●低温可到-20℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议

【产品规格】

【冷却能力曲线】