自动的石英坩埚清洗机是利用湿法的化学工艺来清洗石英部件。在清洗的过程中，HF附带DI水及加压氮气被做为蚀刻剂，石英坩埚的移动是通过PLC控制多向的自动化机械手臂来完成系统的操作。

设备主体结构由清洗机箱体、漏盘、上下喷淋系统、活动托盘、储酸系统、抽风系统、酸液循环系统、石英器皿腐蚀/清洗槽、热风烘干系统、管路部分、PLC+触摸屏电控部分。

该设备主体上下分为三部分：上层电器控制系统、后部抽风系统，中层工作区，下层为管道安装维修区、储酸箱、DIW增压泵、缓冲槽、酸液循环泵等。

工艺流程：

首先将石英坩埚放入清洗机立式活动台，检查水、电、气正常，活动门封闭，然后启动按钮→进入酸洗程序→进入DIW洗程序→冷风预吹干→热风吹干→冷风预冷却→合格报警→人工用小车将石英坩埚取出清洗机，完成整个清洗工作。

SPMC的生产车间宽敞，布局合理，有1600平米加工制造车间、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻机；200平米千级和万级的洁净室；配备洁净空气、氮气及去离子水；208伏和308伏的三相电压；配套了先进的进口焊接、剪裁、测试及装配工具。

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