Planar-200
Planar-200抛光机采用单抛光盘、多抛光头布局，具备自动温度控制系统、工艺数据采集和存储、多步骤抛光工艺、压力/温度/转速高精度控制、无级变频盘驱动等特点。
华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件，致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案。并遵循“科技服务社会”的公司宗旨，持续进行以优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖
Planar-200抛光机采用单抛光盘、多抛光头布局，具备自动温度控制系统、工艺数据采集和存储、多步骤抛光工艺、压力/温度/转速高精度控制、无级变频盘驱动等特点。
天津华海清科机电科技有限公司成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学及业内专业人才，拥有CMP技术专利100余项，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、三维封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学及业内专业人才，拥有CMP技术专利100余项，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、三维封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件，致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案。并遵循“科技服务社会”的公司宗旨，持续进行以优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖