Universal-150抛光机是华海清科研发生产的全自动化CMP设备，主要适用于2″～6″多种规格、材质的化学机械抛光。该机型可对抛光压力、抛光头和抛光盘转速、抛光液流量进行主动控制，具有摩擦力测量、温度监测、配备工艺程序预制、抛光工艺参数数据采集和存储等功能。同时可根据客户要求和规格材质进行设计定制。
Universal-150设备优势：
1.操作简便，容易安装；
2.抛光盘可实现快速更换，便于多种抛光垫进行对比试验；
3.抛光头可实现快速更换，节约时间，便于多种规格工件的加工和试验；
4. 夹持方式多样化，适用于不同规格样品加工；
5. 提供工艺支持，方便工艺验证；
6. 工件最大尺寸可到6”，适用范围广；
7.抛光盘在线修整；
8. 抛光工艺参数数据实时采集和存储；
9. 单盘双头摆动抛光。
天津华海清科机电科技有限公司成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学及业内专业人才，拥有CMP技术专利100余项，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、三维封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学及业内专业人才，拥有CMP技术专利100余项，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、三维封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。
华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件，致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案。并遵循“科技服务社会”的公司宗旨，持续进行以优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖
