适用：惰性气体N₂、Ar、He。惰性气体独家专用纯化技术脱除原料气中的O₂、CO、H₂、CO₂、H₂O、CH₄、碳氢化合物至PPb级。

※请您严格控制原料气的纯度，以保证纯化器的使用寿命。

产品特点 ：

◆脱除杂质深度高

◆镍金属催化剂

◆不释放碳氢化合物  相比国内现有的纯化工艺，HPC –M型纯化技术不释放碳氢化合物，常温工作，节能环保。非消耗型纯化材料，降低成本，纯化深度高，使用寿命长。

◆性价比高（HPC-M系列所用纯化材料为镍触媒催化剂，非消耗材料，常温使用，可再生循环使用，成本低。初始调试后直接使用。

感谢您选择HPC-M终端纯化器，HPC纯化器全面保证您的生产工艺与产品质量。

应用领域：  

光刻

IC（大规模集成电路）

SOI（硅半导体加工）

LED（半导体照明）

PV（光伏太阳能）

化合物半导体

零点气纯化

气体净化、

高纯度焊接