适用：惰性气体N₂、Ar、He。独家专用纯化技术脱除原料气中的O₂、CO、H₂、CO₂、H₂O、CH₄、碳氢化合物至PPb级。

※HPC终端OM系列纯化器适用于原料气指标波动较大，杂质两级脱除，全面保证用户的材料气品质与纯化器的使用寿命。

产品特点 ：

◆ 抗原料气波动能力强。多级纯化工序，

◆脱除杂质深度高

◆不释放碳氢化合物  相比国内现有的纯化工艺，HPC –OM型纯化技术不释放碳氢化合物，常温工作，节能环保。非消耗型纯化材料，降低成本，纯化深度高，使用寿命长。

◆性价比高  HPC-M系列所用纯化材料为镍触媒催化剂，非消耗材料，可再生循环使用，成本低。初始调试后直接使用。

应用领域：  

光刻

IC（大规模集成电路）

SOI（硅半导体加工）

LED（半导体照明）

PV（光伏太阳能）

化合物半导体

零点气纯化

气体净化、

高纯度焊接