二次配管工程：从主系统预留阀（Take off Valve）接至工艺机台（Tools）的工艺配管工程。

包含大宗气体（Bulk Gas）、特气（Specailily Gas）、排风（Exhaust）、化学品（Chemical）、配电（Power）、工艺真空（PV）、纯水（UPW）、冷却水（PCW）、市政水（CW)、废液排放（Drain）、泵排（Pump line）