1.10 自动/半自动探针台/晶体管测试台
Automatic/Semi-automatic Probe Station/Transistor Measuring Systems
美国西太平洋公司（Pacific Western Systems）
主要特性参数指标∶
- 载片台移动范围∶6.8 X 8.5英寸（XY）
- 载片台可转动角度∶ +/- 7.5度
- 载片台平整度∶+/- 0.0005英寸
- 移动精度: +/- 0.00025英寸
- 最小步距∶ 0.0001英寸
- 最大移动速度∶ 5英寸/ sec
- 移动重复性 +/- 1.25 μm
- 图形识别及自动对准，自动快速准确
- 标准参数∶Icbo, Iebo, V(BR)CEO, V(BR)CBO,etc
- 结果自动分类，表格输出及图形输出，
- 可多色喷墨打点分类。
- Keithley或Agilent的多功能万用表。
