X62 D9B-W型抛光机技术规格书

一、主要用途及特点：

1.1本机主要用于蓝宝石、光学玻璃、硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面抛光，也可用于其它硬脆材料的双面高精度抛光加工。

1.2整机采用龙门结构，支撑刚度及设备稳定性更高。

1.3该抛光机加压系统分成轻压抛光、 中（重）压抛光和修正（轻压）多个压力段，能适应较广泛的各类用户抛光各种零件。

1.4本设备上抛光盘快升、快降、缓升、缓降集中于同一个手柄上，操作方便。

1.5采用三相交流异步电机，变频调速，起动及停车平稳，无冲击，可以防止工件破损，也能根据加工零件材料不同，调节到理想的抛光速度。

1.6齿圈可以自动升降，并设置了齿圈下降极限位置定位装置，便于取放工件及修正轮，太阳轮的高低位置通过对其内垫圈的增减进行调整。

1.7设备采用计数程序控制，也可采用时间控制，到预测目标值届时自动停车。因此，一人可同时操作多台机器。

1.8本机电气通过PLC控制，四行文本显示器显示压力过程，操作方便。

二、设备基本参数

l 上下研盘尺寸：φ640mm×φ235mm×30mm（铸铁）

l 游星轮参数：  英制：Z＝108   DP12   α=20°

公制：Z＝114   M=2   α=20°

l 游星轮数量：   5个

l 加工能力 ：    40片/φ50mm，20片/φ75mm，10片/φ100mm

l 最小抛光厚度： 0.20mm

l 最大抛光厚度： 30mm

l 下盘转速：     0-60rpm

l 主电机：       5.5kW   AC380V    1460rpm

l 三相电泵：     1/4HP   AC380V    70L/min

l 外型尺寸：     1000mm×1460mm×2620mm

l 重量：         约1800kg

三、基本配置

l 气动元件：        　　　                   SMC

l 减速器：　　　　　　　　　　               杭州恒星

l 主要轴承:  　　　　　　                    NSK、哈瓦洛轴等

l 可编程控制器〔PLC〕                        台达

l 四行文本显示器  　                         台达

l 变频器     　　　　　　　                  施耐德

l 旋钮开关、电器开关                         和泉、213等

l 主电机                                     国产

四、设备的安装及使用条件

4.1、 设备箱体上装有四个起吊柱，专门用于设备搬运时吊装，设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

    设备安装的条件为：

      a、温度10℃-25℃

      b、相对湿度≤95%

      c、电源电压AC380±38V（三相五线制）

      d、压缩空气源 0.4-0.6MPa

      e、冷却水 10-20℃、0.15-0.2MPa

4.2、设备可直接放在地板上，调整六个地脚螺栓可校正设备的水平，校正时，用水平仪在下研盘上检测（即在相互垂直的两个方向上检测、校正），其水平应调至0.06/1000mm。

五、设备总体技术要求

l 上下抛光盘平面度：≤0.02mm；

l 下抛光盘端面跳动：≤0.06mm；