一、 用途和特点

1.1、本机主要用于蓝宝石、彩色滤光片、硅片、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面抛光，也可用于其它硬脆材料的双面高精度抛光。

1.2、采用电气比例减压阀电控调节正压（输出压力因输入电压的变化而平滑地改变），选用荷重传感器时时检测工件受力，并将信号反馈给控制单元构成压力的闭环控制，压力控制精确。

1.3、采用三电机同步拖动，中心齿轮的变速（即可正转，也可反转）范围广，工艺调整方便。

1.4、该机可由用户设定存贮多套不同的工艺参数（压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等），以供操作工调用。

1.5、该机具有抛光盘自动称重功能，以此配合抛光压力设定，从而保证了同样抛光工艺参数（所设压力、时间、速度以及抛光液粒度、浓度、流量）的抛光效率长久不变.

1.6、该机具有浮动启动功能，即在缓降时启动主机，满足某些工件要求上盘动态接触的抛光工艺方案；若不需要此功能，将浮动启动时间设定为零，缓降到位后再启动即可。

1.7、关键外购元件采用进口配套，保证了设备的使用可靠性要求。

二、主要技术参数

2.1、 抛光盘尺寸（外径×内径×厚度）：Φ933mm×Φ515mm×50mm

2.2、游星轮规格： （英制）   Z=108  DP12  α=20°

                  （公制）   Z=114  M=2   α=20°

2.3、 游星轮数量：        9个

2.4、加工能力：          36片 /φ75mm，72片/φ50mm

2.5、最小加工厚度：      0.15mm

2.6、下盘转速：          0～40rpm

2.7、太阳轮转速          0～20rpm

2.8、内齿圈转速           0～15rpm

2.9、主电机：             7.5kW    1460rpm

2.10、太阳轮电机：        1.5kW    1400rpm

2.11、齿圈电机:           1.5kW    1400rpm

2.12、设备外形尺寸：      1600mm×1290mm×2850mm

2.13、设备质量：          约3000kg

三、设备的安装及使用条件

3.1、 设备箱体上装有四个起吊柱，专门用于设备搬运时吊装，设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

    设备安装的条件为：

      a、温度10℃-25℃

      b、相对湿度≤95%

      c、电源电压AC380±38V（三相五线制）

      d、压缩空气源 0.5-0.6MPa（干燥的清洁空气）

e、冷却水 10-20℃、0.15-0.2MPa

3.2、设备可直接放在地板上，调整六个地脚螺栓可校正设备的水平，校正时，用水平仪在下抛盘上检测（即在相互垂直的两个方向上检测、校正），其水平应调至0.06/1000mm。

四、整机精度指标

4.1、上下抛光盘平面度：≤0.02mm

4.2、 下抛光盘端面跳动允差：≤0.06mm

五、基本配置

5.1、气动元件        　　　                     SMC

5.2、减速器　　　　　　　　　　                 国产

5.3、轴承      　　　　　　                     国产

5.4、可编程控制器〔PLC〕                        OMRON  

5.5、可编程人机界面PT　                         OMRON

5.6、拉力传感器              　　　　           国产

5.7、变频器　　　　　　　                       施耐德

5.8、 低压电器       213、魏德米勒等

5.9、 旋钮开关、电器开关                213、和泉等

5.10电机                                        国产