机械探针式测量方法［1－3］是开发较早、研究最充分的一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面,当探针沿被测表面移动时,被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动,其移动量由与探针组合在一起的位移传感器测量,所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。    探针式轮廓仪是高精度的表面轮廓测量仪器,深度测量精度可达到0.1～0.2nm;纵向分辨率取决于与之配套的位移传感器,一般可达到0.1 nm的量级;横向分辨率与针尖半径有关,同时还与被测表面的具体形状有关,一般可达到0.05μm～0.25μm。