退火炉
Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长
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单价 1000.00
库存 1000台
品牌 Centrotherm
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Activator 150

SiC和GaN退火及石墨烯生长

 

centrotherm Activator 150 高温炉生产线专为硅-碳化合物(SiC)或镓-氮化合物(GaN) 设备的后植入烧结而设计开发。Activator 150 可用于多种类型炉体, 如研发炉和批量生产炉, 且处理灵活性高。centrotherm 的无金属加热装置的独特设计允许处理温度高达 1850 °C 同时缩短了工艺循环时间。由于占据空间小、购置成本低,所以 Activator 150 可实现生产具有成本效益。

 

高活化率

表面粗糙程度最小

温度最高达 1850°C

批量规模高达 50硅片(150mm)

加热率最高达 150 K/min

通过SiH4可实现硅“过压

联系方式
公司:上海驰舰半导体科技有限公司
状态:离线 发送信件 在线交谈
姓名:毛建青(先生)
职位:销售经理
电话:18602186838
手机:18602186838
传真:021-39650051
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