VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展，TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新一代的VEGA给用户带了最新的技术优势，包括改进的高性能电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。

LaB6发射源

TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。LaB6的优势包括：稳定的电子发射源（与场发射电子源相比），在阴极较低温度下可获取比较高的束流（与钨灯丝电子源相比）。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。

现代电子光路

• 独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式
• 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"
• 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应
• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束
• 镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构
• 3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于最佳状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率最大化，操作最简化。

自动操作

通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

用户界面友好的软件

• 用户界面有各种语言版本
• 多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快
• 图像文件管理与报告生成
• 内置的自动系统检查
• 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断
• 模块化软件体系结构
• 标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等
• 选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等

关于TESCAN

公司介绍

作为科学仪器的全球供应商之一，TESCAN正为其在设计、研发和制造扫描电子显微镜及扫描电子显微镜在不同领域的应用方面树立良好的声誉和品牌。

TESCAN公司专注于研究、研发和制造科学仪器及其相关科学产品，主要产品如下：

• 扫描电子显微镜（SEM）
• SEM相关的附件产品
• 光学仪器数字图像处理系统
• 按照客户要求制造真空室
• 探测系统
• 科学仪器硬件与软件

公司总部

TESCAN, a.s.
Libušina třída 21 623 00, Brno - Czech Republic

位于捷克共和国布尔诺市，具有悠久电子显微学历史的城市。

研究与开发

TESCAN致力于持续不断的改进其产品，给客户带来了竞争优势。

通过参与尖端研究项目和与其他电子显微学以及显微分析领域内的制造商的合作，TESCAN逐步建立起了自己的品牌。目前为止，TESCAN的产品和解决方案已经在全球微纳米技术领域取得了领先的地位。