简易型手调式探针仪

1. 主要提供半导体研发或电性异常分析之用。
2. 可装 Hot Chuck 做高温测试。
3. 可做微小 I - V 量测，（电流可到 fA 等级）。
4. 不同的 C - V 量测（准静态 C - V；HF - CV）。
5. 手调式电性测试分析探针仪主要运用在 IC chip 或 4”； 6” wafer