单面抛光机/研磨机
FAM(自由磨料加工)是SpeedFam原始单面搭接过程,使自由磨料磨具在ultrahard板效率高。这些简单的系统非常容易操作和维护。不仅适用于研磨,我们提供这个阵容配置软,“硬”抛光。从裸硅片金属和蓝宝石,这些单边系统提供研磨过程广泛的生产要求。
硅晶片
FAM59SPAW / FAM50SPAW
SpeedFam 50-SPAW和59-SPAW机器自动单边机械化学抛光系统进行裸硅片处理。我们运输陶瓷安装板自动(与晶片加载和卸载)。这些系统配备了各种先进的技术,如较低的热膨胀抛光板和冷却降温、独立控制驱动和精确的压力控制每个进程。
设备一般用途
FAM48BAW / SPAW
我们48英寸滚筒机器通用单面研磨系统适用于各种各样的大规模生产的流程。配置包括抛光和硬抛光的规格和所有可以合并抗腐蚀材料和各种特定于应用程序的选项。
FAM32BTAW / GPAW
SpeedFam线组成的32寸通用单边机器为众多应用程序提供了各种不同的规范。本设备适用于各种各样的大规模生产，抛光和硬抛光的应用。都可以用耐腐蚀材料为各种特定应用程序和可用各种各样的选项来满足您的需求。
FAM12BS
我们的12 b是一个桌面单面研磨工具板直径12英寸。从一个小部件的实验项目可以广泛用于搭接的大规模生产，抛光和硬抛光的应用。
sp - 1700
我们的sp-1700是振荡型单面抛光机抛光板和1700mm直径。这是一个用在液晶玻璃基板的抛光生产工具（通常730mmx920mm平方）。SP系列抛光机配置其他大型工件的尺寸以及。