主要用于多层膜的镀制，可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜。
ZZSX系列镀膜机技术特点：
根据需要可以增加或提高配置，如真空系统选用分子泵、低温泵；真空室配低温捕集器；膜厚控制采用石英晶体膜厚控制仪；辅助镀膜采用离子源、RF射频轰击等。
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型号 参数 |
ZZSX-500 |
ZZSX-700 |
ZZSX-800 |
ZZSX-1100 |
ZZSX-1200 |
ZZSX-1350 |
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结构形式 |
箱式前开门后置抽气系统 |
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真空室尺寸 宽×深×高/mm |
500×500×680 |
700×700×860 |
800×800×1000 |
1100×1100×1200 |
Φ1200×1200 |
Φ1350×1240 |
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极限压力/Pa |
≤5×10-4Pa |
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抽气时间/min |
从1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20 |
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蒸发源 |
e型270磁偏转电子枪 |
加速电压/KV |
6,10两档可切换 |
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数量/套 |
1 |
1（根据用户需要可安装2套） |
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功率/kv |
6 |
10 |
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坩埚容积/ml及穴数 |
20×4（或110环形坩埚） |
22×4（或120环形坩埚） |
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电阻加热式 |
电压/v |
5,10 |
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功率/kw |
2.5 |
5 |
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水冷电极/对数 |
2/交替蒸发 |
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工件架类型及尺寸/mm |
整体拱形夹具Φ460 |
4片拱形夹具Φ650 |
4片拱形夹具Φ740；行星夹具Φ450×3任选一种 |
4片拱形夹具Φ1000；行星夹具Φ770×3任选一种 |
4片拱形夹具Φ1100 |
4片拱形夹具Φ1240 |
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工件烘烤 |
功率/kw |
4.5 |
4.5 |
9 |
13.5 |
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温度/℃ |
350 |
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直流离子轰击 |
最高电压/v |
3400 |
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额定功率/kw |
1 |
1.5 |
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真空系统配置 |
K-400油扩散泵系统 |
KT-500油扩散泵系统 |
K-600油扩散泵系统 |
KT-600油扩散泵系统 |
K-800油扩散泵系统 |
双套K-600油扩散泵系统 |
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光学镀膜控制 |
光纤光路，透,反射控制，波长380nm-760nm（可扩展至380nm-1100nm） |
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水冷 |
水压/Pa |
～2.5×105Pa |
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水温/℃ |
<25 |
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压缩空气/Pa |
(5-8)×105Pa |
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总功率/kw |
22 |
25 |
35 |
46 |
54 |
56 |
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占地面积/mm长×深×高 |
2600×2500×1900 |
2800×2700×2100 |
3200×3200×2400 |
3500×3600×2600 |
4000×3600×2600 |
4200×4000×2800 |
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在真空测量技术、真空获得技术、光学多层全自动镀膜技术、通用磁控溅射及多靶磁控溅射技术（DC、MC、RF溅射技术）以及PECVD技术等方面处于国内领先，并有多项科研成果获得国家专利。近年来，为多个院校、研究院所开发制造多台用于研究薄膜太阳能电池的实验室设备。在拥有成熟的真空技术的基础上，2006年北仪创新公司研制成功了国内首条自行设计制造的非晶硅薄膜太阳能电池生产线，其核心是采用单室多片大面积PECVD沉积技术，用于生产大型玻璃光电模板一次完成多片数十平方米的双节非晶硅薄膜的沉积，在相对低的设备投资下取得较高的大面积模板的产量，产品的性能指标达到国际同等水平，设备销往广东、福建、浙江等地区，改变了以往我国非晶硅薄膜电池生产线依靠进口的现状。
北仪创新公司一贯秉承并将继续坚持“诚信 精益”的企业精神，不断汲取客户的建议及业界的先进技术，以“顾客先导 持续改进”的价值观在合作中实现共赢。
