激光器发出激光通过孔径光阑、衰减器及电动快门后,进入显微镜的激光入口,通过反光镜反射后,进入物镜到达待加工样品的表面。在加工的同时,反射光或补充照明光进入目镜通过成像光路在CCD(即数码摄像机)芯片上成像,进行实时在线观测。
产品特点
1.采用开放式支架可与第三方高精度精密平台配合使用,此为其他类型的金相显微镜无法实现;
2.配备大范围升降装置,可用于大工件监测加工。
产品配置
一、海德星XYZ平台
1、XYZ高精度三维平台
行程:100mm*100mm*50mm,XY轴负载:20kg,Z轴负载:1kg。
1)行程:100mm*100mm*50mm;
2)最大速度:50mm/s;
3)最小速度:1μm/s;
4)最小步进:10nm;
5)最大承重:10kg;
6)重复定位精度:10nm;
7)加工材料:金属材料(如:硅,铜,铝等);
8)加工形状:圆形、方形等;
9)平移台有可编程接口,便于编程控制三轴的移动路径。
二、蔡司显微镜SCOPE A1 + CCD:
1、物镜:
反射光高反差明暗场物镜:
EC Epiplan 5X/0.3HD M27(WD=11.8mm);
EC Epiplan 10X/0.25HD M27(WD=11.0mm);
EC Epiplan 20X/0.4HD M27(WD=3.2mm);
EC Epiplan 40X/0.6HD M27(WD=2.2mm);
EC Epiplan 100X/0.85HD M27(WD=0.87mm);
2、目镜:
PL 10X/23Br.foc.
3、CCD相机:
AxioCam 105 彩色CCD
4、附件:
卤素灯:12V100W
白平衡片:d=25x1.5mm
CCD接口:60N-C 2/3’’ 0.5X
目镜测微尺:10:100 d=26mm
三、激光照明器
应用领域
1.适用于切割各种材料的激光加工;
2.适用于加工过程的实时在线监测;
3.可作为普通的金相显微镜使用。