石英
密度：2.20±0.02g/cm^3
透过率：≥92%@193nm；≥98%@248nm
光学均匀性：±（2-10）×10^-6
应力双折射：2-5nm/cm
| 尺寸 | 尺寸范围 | 侧垂 | 光洁度 | 面形 | 角度公差 | 光学平行差 | 通光孔径 |
| 小 | 5×5-10×10mm | 1′ | 20/10-60/40 | λ/4-λ/10 | 2″-60″ | 2″-3′ | ≥90% |
| 中 | 20×20-50×50mm | 1′ | 20/10-60/40 | λ/4-λ/10 | 2″-60″ | 2″-3′ | ≥90% |
| 大 | 60×60-100×100mm | 1′ | 40/20-80/50 | λ/4-λ/10 | 2″-60″ | 2″-3′ | ≥90% |