MASTER超快激光加工系统
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MASTER超快激光加工系统可通过超短激光脉冲、精密的微动平台和先进的光学部件，实现精密的激光微加工。皮秒或飞秒激光脉冲使得该系统具有最小的热效应区和最高的空间精度。较高的重复频率和精确的脉冲能量确保该系统在划片和打孔过程中能快速地去除材料。共有三种不同的加工波长可选，并能将数种波长合成到一路光束中，使其具有强大的材料加工能力。 |
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特点
- 用于微米级激光精密加工
- 用于科研和工业加工
- 高能量的皮秒或飞秒激光脉冲
- 波长范围涵盖红外到紫外
- 多种激光、机械和光学部件可选
- 专业的激光微加工和系统控制软件
- 独立的防震花岗岩平台，Ⅰ类激光安全防护
- 温度和空间位置的高精度控制
- 应用范围涵盖太阳能电池硅片划片、柴油机喷嘴打孔和超硬材料的刻膜
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参数
| X-Y平台 | |
| X-Y行程 | 200mm |
| 最大移动速度 | 2000mm/s |
| 最大线性加速度 | 30m/s2 （空载） |
| 精度 | ±1μm |
| 重复精度 | 0.10μm |
| Z轴 | |
| Z轴行程 | 100mm |
| 最大移动速度 | 400mm/s |
| 最大线性加速度 | 30m/s2 （空载） |
| 精度 | ±1μm |
| 重复精度 | 0.10μm |
| 光学 | |
| 光斑直径 (与波长和镜片相关) | ≥3μm |
| 输出光束 | 单一或多波长可选 |
| 控制 | |
| 系统控制 | 工业控制计算机，带液晶显示屏和键盘，基于MS Windows的SCA控制软件 |
| 激光与运动控制同步 | 激光脉冲同步输出 |
| 其它参数 | |
| 体积（W×D×H） | 1300×1200×1700mm |
| 最大功耗 | 4500W |
| 注：各项参数均有更多选择，欢迎致电详询;外观尺寸可能因设计会有变更，恕不另行通知;皮秒及飞秒激光器可选。 | |