HLK-100型白光干涉光学轮廓仪是基于光学干涉原理，实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量，帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析。
1.产品型号：HLK-100
2.产地：中国武汉
3.产品功能：基于光学干涉原理，实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量，帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析。
4.技术指标:
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型号 指标 |
HLK-100 |
HLK-200 |
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放大倍率 |
10╳， 20╳，50╳ |
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垂直分辨率 (nm) |
0.1 |
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垂直范围(mm) |
0.08 |
4mm |
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水平分辨率(um) |
3.0 (10倍)， 1.0 (20倍)，0.5 (50倍) |
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水平范围(mm2) |
2×1.5/10╳，1×0.8 /20╳，0.4×0.3 /50╳ |
20×20 |
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输出标准化参数 |
二维粗糙度参数(ISO25178)：Ra，Rz，Rz，Rmax，Rp，Rq，Rpm，Rvm，R3z ,Wt，Pt，Tpa Ra 三维粗糙度参数(ISO25178)：Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc |
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