HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合，实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。
1.产品型号：HFM-HLI
2.产地：中国武汉
3.产品介绍：HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合，实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。
4.技术指标：
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型号 指标 |
HFM-HLI |
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垂直分辨率 (μm) |
1nm |
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垂直范围(mm) |
3μm |
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水平分辨率(μm) |
2nm |
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水平范围(mm2) |
50μm╳50μm |
5.应用实例
（1）107.3±2nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果
（2）517.5±2.5nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果
（3）光刻二维光栅表面测量结果
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