G200M，G150M和G150S平面激光干涉仪为正立式结构，通光口径分别为200mm和150mm。
G200M弥补了国内使用有效口径150mm的干涉仪测试大尺寸光学系统和光学元件，不能全口径测试的不足，改善提高了大口径光学系统和光学元件测试精度。
G150M型平面干涉仪专为计量级测试的需求设计，适用于计量机构检定和校准光学平晶。其集高性能、长寿命氦氖激光器，1-6.7倍图像放大功能，高精度的成像系统和图像采集系统，精密平面标准镜等一系列高精技术，通过优化光学系统和机械系统结构，实现高精密平面光学元件的测量。选配静态干涉条纹分析软件，实现数字化测量。
G150S为G150M的简化版本，适合光学车间的现场检验。
主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形、光学平行度和材料均匀性的测试；准直系统波前质量的测试。