800mm长×540mm宽×1800mm高
控制柜尺寸：
800mm长×230mm宽×320mm高
特气柜参数：
PN2入口压力：80PSI，1/4 MALE VCR接口
GN2入口压力：80PSI，1/4 MALE VCR接口
CDA入口压力：4-10bar，1/4卡套接口
VENT出口：1/2VCR接口
工艺气体出口：两路1/4 MALE VCR接口
特气柜柜体换气量： SiH4-1200次/小时，其余300次/小时
电源：220V（半自动）
防爆玻璃观察窗：标配
按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）
按操作方式分类：手动、半自动。
产品优势：
气路配件，接头、阀门等全部是进口电子级材料，管道为316L，自动轨道焊接。
气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能，气瓶柜留有排气口，并具有负压检测。根据实际需要可安装称重、加热等装置。
气瓶柜箱体采用安全设计，所选用的材料适用于各种不同性质的气体，美观，紧凑，安全，质优价廉，可按照客户要求定制。
完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）报警信号被触发时，自动切断。
交货期短，常用配件备有大量库存。
完善的售前、售后服务，赢得客户认可。例如，清华大学，北京大学，中科院半导体所等。
产品应用：可以为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等设备配套，应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业。