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翻转扩膜机
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单价 300000.00
库存 1台
品牌 海展
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高档半自动扩膜机(伺服电机式)
该晶圆扩膜机是用于常规切割或激光切割制程之后,将膜均匀拉伸,从而使切割后的晶粒分离,并均匀拉开一定距离的设备,扩膜动力采用伺服电机驱动滚珠丝杆扩膜,扩膜高度及速度可在配置的触摸屏中参数化进行设置。
型号
SSE-100
Wafer尺寸
8英寸及以下尺寸
frame尺寸
8英寸(可根据客户环定制)
胶膜(须具备较好的延展性)
蓝膜或UV膜;厚度0.05mm~0.15mm
扩晶环
内环:客户指定
外环:客户指定
人机界面
触摸屏(设定扩膜速度和扩膜高度等参数)
控制系统
PLC
扩膜高度
行程18~50mm,参数化设定,精度±0.1mm
扩膜速度
1~15mm/s范围内任意设定
扩膜方式
松下伺服电机驱动精密滚珠丝杆
工作台
加热式工作台,室温~100℃可设定
工作效率
45-50/小时
frame定位
定位销
扩膜环外膜的处理
手工切割
静电消除装置
左右分布两个离子风扇
硅渣处理
集料盘
翻转机构
速度可以调节(精密日本东方无刷马达)
设备窗口
安装光栅保护
设备外壳
不锈钢防护罩/单侧开门
设备形式
落地式
扩膜选项
通过触摸屏可以选择直立或翻转扩膜模式
供电
220 V50/60 Hz5A
供气
0.5MPa 干燥压缩空气
外形尺寸
780mm () × 1100mm () ×1800mm(高)
净重
110Kg
电器元件
松下,OMRON,东方马达等品牌
气动元件
日本小金井,SMC等品牌
机械标准件
HIWIN精密级,MISUMI等品牌
操作方式
采用常规的正面放产品和扩膜环方式,方便操作,扩膜系统旋转180度后进行扩膜,扩膜完成后,自动旋转回正面,方便取下产品
联系方式
公司:上海海展自动化设备有限公司
状态:离线 发送信件 在线交谈
姓名:李海飞(先生)
职位:经理
电话:021-60510583
传真:021-51862760
地区:中国-上海市
地址:松江区漕河泾开发区汉桥科技园
邮件:shanghaihaizhan@163.com
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阿里旺旺:shhaizhan