TPS200-HP高功率器件测试探针台针对高功率器件（整流二极管、IGBT、GaN、SiC）晶圆片测试而设计的一体化在片测试解决方案。可提供3kV（三同轴）、10kV(同轴)及高达600A的大电流测量能力。¬¬¬¬结合Siradar公司特制的微型腔体，进口温控系统，支持晶圆的变温测试从-55℃~300℃或常温~300℃。探针台载片台平面采用铝合金镀金保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散，同时提供低漏电噪声的保护及屏蔽环境。为了保证高压测试的人身安全，TPS200-HP探针台采用了安全互锁系统机构和测试系统级联，屏蔽门关闭后高压才能输出，带高压指示灯。配置高压大电流信号转接板，无缝连接功率器件参数分析系统线缆接口，保证高压大电流测试的精度指标。