一、基板
材料：Si、Mo、Glass、GaN、GaAs等
尺寸直径：2-8英寸圆片及各种形状的基板
二、真空条件
油旋片泵+低温泵U16P
极限压强：小于3.0*10-6Pa
排气速度：20分钟内达到3.0*10-6Pa
三、成膜
蒸发源：电子束式，10KW/16KW，坩埚型号20cc、40cc、110cc（可选），热阻式：备选。
行星式：公转式，卫星式
基板内：基板均匀性在5%以内
四、加热方式
红外灯加热，最高350℃
五、操作模式
GPCS-2700触摸屏控制，PC+PLC

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