极限压强：成膜室 6.7*10-5Pa
设备构成：1个L/LU室+最多3个工艺室
溅射方向：向下溅射
基板尺寸：直径100-200mm
排气系统：LL室，刻蚀室，分子泵，成膜室，低温泵
控制系统：PC触摸式操作屏
搬送系统：多腔体方式
选购件：基板加热单元，基板冷却单元，刻蚀单元，多阴极单元
所需气体：Ar、氮气、干泵用氮气，压力0.5MPa
详情可咨询：www.yjyco.cn
溅射台SRH-420
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| 单价 | ￥0.00 |
| 库存 | 10件 |
| 品牌 | ULVAC |
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