应用方向：PD/APD芯片筛选测试，GaAs射频芯片S参数测试，MEMS晶圆管芯筛选测试等。

 

APS-2000半自动测试探针台针对8英寸晶圆片测试而设计的一体化在片测试解决方案，同时可提供射频微波、高压大电流测量能力。探针台载片台平面采用铝合金镀金保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散，同时提供低漏电噪声的保护及屏蔽环境。为了保证高压测试的人身安全，APS-2000探针台采用了安全互锁系统机构和测试系统级联。    

 

AutoMap探针台控制软件简单直观控制载片台XYZ三向的步进移动，wafer图形分布描述，芯片图像对准，坐标定位等功能，同时配置经典的四向迷你位置操作键盘。

 

ATE2.0晶圆参数自动化测试软件可控制多种测试仪器，包括半导体参数分析仪、网络分析仪、阻抗分析仪等，支持TPS200、APS-1500、FAPS-1500自动化测试探针台，实现晶圆在片的自动化批量筛选测试。

 

主要功能：

WaferMap图描述：采用工业相机，通过图像算法实时扫描Wafer并对Die进行对准

Chuck控制：AutoMap软件或经典键盘多向操控Chuck移动

Wafer图形模式：圆形、阵列、环形、探边多种形式式，可自定义学习模式。

Die坐标查询：实时显示更新Die相对坐标

打点方式：喷墨，离线打点、异步打点

测试接口：TTL电平、RS232、GPIB、以太网

支持探针：直流钨探针、RF探针、高压探针，大电流探针

支持仪器：Keysight 源表、网络分析仪、LCR表；Keithley 2400,6487,2600B等

支持软件：ATE2.0参数测试软件