1350型

1）形式：卧式、立式

2）使用温度：≤1370℃

3）控温精度：优于±0.2℃

4）恒温区长度及精度：800mm，±0.2

5）适用工艺尺寸：2-8寸

6）控制方式：微控

1650型

1） 形式：立式

2） 使用温度：1370℃-1650℃；

3） 控温精度：优于±0.2℃；

4） 恒温区长度及精度100mm，±0.5℃；

5） 适用工艺尺寸2-6英寸；

6） 控制方式：全自动微机控制；

7） 工艺腔体环境为水冷真空或是保护气体；

8） 真空度1×10-5pa；

9） 工艺气体：根据客户需求定制

10）气路系统气密性 1×10-7pa.m3/s

2000型

1） 形式：立式

2） 使用温度：1650-2000℃；

3） 独特的闭环温度控制系统科学可靠，控制精度高，可重复性好；

4） 恒温区长度及精度：100mm，±1℃

5） 适用工艺尺寸：2-6英寸；

6） 工艺管材料性能稳定，洁净效果好；

7） 控制方式：全自动微机控制；

8） 工艺气体：根据客户需求定制

9） 气路系统气密性 1×10-7pa.m3/s