1）先进的热场设计；温场稳定、可靠，使用寿命长，有效降低能耗及耗材消耗

2）采用IGBT高频电源，精度高、效率高，提高晶体品质和成晶率

3）内置隔离系统，集成式炉内退火及快速更换籽晶功能，提高晶体品质及设备利用率

4）防粘锅设计，提高成晶率真及坩埚寿命

5）冷却水入口温度±0.5℃，提高晶体品质和成晶率

5）先进真空管理及气体分配系统

6）安装装置及互锁，提高安全性

7）高精度闭环控制，减少了操作中的人为影响

8）友好的人机界面，生长过程的各项工艺参数显示直观，操作便捷

产品优势：

1）集成一体化工艺：炉内退火，减少开裂及碎晶

2）全球最低每毫米晶体制造成本：低电能及耗材消耗量，同比下降40%

3）首批设备调试时间：缩短至3个月

4）革新性热场设计：经高速计算机模拟验证，提高成晶率

5）热场材料选择：降低能耗及耗材消耗，提高热场稳定性及设备利用率

6）设备利用率及成晶率各提升约15%-20%