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非接触式测厚仪介绍：

是一款高性能高精密的测量仪器，可以不接触样品表面进行厚度测量。这种方式可以避免接触测量引起的表面损伤，特别适用于软脆材料及对样品表面质量高要求的测量.该仪器能非常理想的用于半导体、光学及电光材料厚度的测量应用。

功能：

在线实时测量监控、数字显示。

设备原理：

采用无污染气脉冲测量法，通过气脉冲，在晶圆表面形成均匀气膜，对被测物进行非接触、无损伤厚度测量，采样速度快精度高，性能稳定，操作简单。

技术参数：

测量臂带细调功能

测量范围:0-180毫米

厚度范围0～500mm（或可按要求设定范围）

样品尺寸：8英寸及以下尺寸

读数精度：0.1um

测量精度：1um

适用范围：

适用于半导体材料的测量，如：磷化铟、碲锌镉、砷化镓、蓝宝石、硅片等，其他材料：陶瓷片、薄膜、高度抛光表面样件等。