1.本砷化镓清洗设备采用RCA清洗工艺，采用国际标准生产加工，有可靠的质量保障。

2.机体由机台、管路系统、操作台面、加温装置、保温装置、清洗槽体、药液温度控制系统，排风系统、照明、电气控制系统等组成。

3.由德国进口象牙白PP板焊接而成，质轻、耐蚀。

4. 控制由PLC控制器与触摸面板组成，方便易操作。

5. 声光提示、报警功能。

6. 本砷化镓清洗设备照明为20W封闭日光灯。

7.排风系统由排风窗、排风管、排风口组成，风量大小可调。
8.配备四氟冲洗水枪，可对台面、工件进行冲洗。