苏州晶淼推出的此硅片光刻清洗机适用于4-8英寸半导体硅片清洗工艺。整机由机台、清洗槽体、温度控制系统、机台照明、电气控制系统等组成。机身包板为德国PP板，整洁美观。DIW管路、氮气（N₂）管路、洁净空气管路、自来水管、 药液排放管、排气管路、 排水管布局简洁合理。配有美国进口氮**和**。电控部分为正压保护方式，配有紧急停机及报警装置。