RCA清洗机
苏州晶淼全自动RCA腐蚀机
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品牌 JM晶淼
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 设备主体由德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工而成。可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。该设备适用于2—8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀,关键部件采用进口件,包括气动阀,PFA管道,保证工作介质的洁净度,避免杂质析出。工艺过程全自动,由机械臂负责工件在槽体间的转换,除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成。可存储多条工艺时序,方便使用。人机界面为触摸屏,方便直观。
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公司:苏州晶淼半导体设备有限公司
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