金属腐蚀清洗机
晶淼湿法金属刻蚀机
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品牌 JM晶淼
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 湿法蚀刻设备,可广泛用于IC生产和半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。该设备可有效去除硅片表面的有机物.颗粒.金属杂质.自然氧化层及石英.塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。可用于扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的刻蚀清洗。例如:RCA清洗、SPM清洗、HPM清洗等
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公司:苏州晶淼半导体设备有限公司
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