管式炉
扩散炉(微控)
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品牌 赛尔微
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 微控扩散炉应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸

产品特点: 
主机为水平一至四管炉系统构架,能独立完成不同的工艺或相同工艺 
工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行全自动控制 
采用悬臂式送片:操作方便、无摩擦污染等 
关键部件采用进口器件,确保设备的高可靠性 
工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),气体流量采用质量流量计(MFC)控制 
控温精度高,温区控温稳定性好; 
具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 
高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命

 

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