型号：1300
规格：内腔1300
重量：3000KG
外形尺寸：内径1300
标准箱数：1台
特点：
1. 中外技术整合
2. 基于20年使用经验，从使用者角度出发的全新设计
3. 一流性价比
4. 60%进口零部件，产品质量重点保证
5. 产品主要参数：
|
项目
|
参数
|
|
极限真空
|
低于9.0E-5pa
|
|
恢复真空
|
10min内达到3.0E-3pa
|
|
保真空
|
低于9.0E-2pa
|
|
温度均匀性
|
280℃±10℃（30min加热后）
|
|
成膜均匀性
|
小于5nm
|
|
成膜再现性
|
小于5nm
|
|
成膜控制
|
专业全自动软件控制
|