真空泵
Vacuum Pump
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 Vacuum Pump VP0625       Vacuum Pump VP0125   
用于wafer等样品在chuck上的吸附固定,及真空底座的探针座固定。
考虑到实验室内的噪音,所以配置的是日本原装进口的超静音pump。
0625的抽真空能力:15L/M
0125的抽真空能力:7L/M
 
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公司:仪准科技有限公司
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