采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

 二技术参数（本产品按Q/320500HH009-2014进行生产、校验）

2.1  测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）

2.2   流量范围：   DN3   100-1000mL/min

                      DN4    250-2500mL/min

                      DN6     1000-10000mL/min

                      DN8    1500-15000mL/min  

           DN10   2500-25000mL/min             

                注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；

(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。

2.3   流量测量准确度：±1.5%FS

2.4   工作温度范围：0-55℃；

2.5   工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6   供电电源：24VDC±10%；

2.7   输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8   环境温度：0-55℃；

2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。