产品特点：

1.为用户提供高效率。MX61适用于最大200mm的样本，而MX61L则可适用于最大300mm的样本。

2.大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查

3.采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利。

4.多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求。

5.透射和反射照明可同时使用，极大提高液晶基板观察效果。