»半导体晶圆制造
»LED 芯片制造
»Amplifier
»光学镜
»功率器件
»科技研发
设备配置:
»Φ2-8" 圆片及其它形状的基板
»32"×32" 圆形工艺腔
»16" VAT 高阀组
»加热温度500℃,16KW
»1-6 坩埚,可选配
»Austin 冷泵
»3 dome 行星架
»电子枪电源,10-15KW air cooled
»ELO 17" 触控屏
»10KW电子枪电源
特点:
»设备真空 5.0E 10-7Torr
»工艺真空 8.0E 10-8Torr
»真空速度:2.0E 10-6Torr < 10min(高阀打开)
»最高温度500°C
»装片能力:
·3" 108pcs • 4" 57pcs •5" 39pcs
·6" 24pcs • 8" 15pcs
»产能:
·单位小时= 60/99.3*24=14.496
·月产能 = 1440*0.9(PM time)/99.3min*24*30 = 9396
»均匀性:片内,片间,批间 ±3%
»Windows XP操作系统,界面友善
»控制面板简洁、清晰,操控方便
»全中文操控平台,更适合国内用户
动力条件:
»电源:VAC208,3相5线 / 50/60Hz,160Amp
»冷却水:3-5 Gmp
»压缩空气:85-125psig
»氮气:20-60psig