EasyCoater 6 匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，程控操作，性能稳定，具有优异的性价比。

结构紧凑：EZ6外型尺寸为：260(W)*358(D)*258(H)，特别适合放于手套箱内操作。最大可旋涂6寸圆晶的底物。

简单易用彩色触屏控制，界面简单易用，且自带帮助功能，提供使用向导，对初次使用者非常方便。

程控操作：提供多步编程旋涂工艺运行，最多可存贮10步10组程序，还可升级自动点胶功能。

性能稳定：工业级直流马达和高级PLC控制，转轴旋转稳定，重复性好；真空系统设计独特，可靠性好。

产品参数说明：

HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能 

SUS耐腐蚀不锈钢机身，经久耐用

耐溶剂性PC透明盖子，提供动态和静态点胶方式

4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作

100W直流无刷电机，高级PLC控制

内腔直径180mm，可处理碎片（小于1cm）至6英寸圆晶底物

转速可控范围：100-10000RPM，转速分辨率：1RPM

加速度可控范围：100-30000RPM/S

可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序

带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能

宽输入电压适用：AC100-230V输入

带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全

可选择设置开机密码功能，提高设备操作安全性

产品附件选择：

标配四只真空载物盘（3/16”,1/2”,1”&2.25”），适于碎片至6寸圆晶的处理

定制载物盘可选，根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式载物盘设计加工 

用于薄膜基片可提供定制微孔真空吸附载物盘 

无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选

4-6寸手持式对中装置可选

盖子上点胶针筒支架手动点胶可选

瓶口分液器手动点胶可选

蠕动泵/点胶机等自动点胶装置可选配