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PECVD
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EPEE 550是一款面向LED领域的大产能PECVD设备,适用于LED芯片制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程
性能特点:
支持高压工艺,更快的沉积速率;
高功率清洗技术,更好的清洗效果;
支持双频工艺,可控制膜层应力;
加热器三区控温,控温能力更强;
大产能高性价比
大产能,更优的大尺寸晶片容量。
联系方式
公司:
北京七星华创电子股份有限公司
状态:
离线
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姓名:熊莉(先生)
电话:
010-84572690
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15810112307
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