PECVD
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 EPEE 550是一款面向LED领域的大产能PECVD设备,适用于LED芯片制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程
性能特点:
  • 支持高压工艺,更快的沉积速率;
  • 高功率清洗技术,更好的清洗效果;
  • 支持双频工艺,可控制膜层应力;
  • 加热器三区控温,控温能力更强;
  • 大产能高性价比
  • 大产能,更优的大尺寸晶片容量。
联系方式
公司:北京七星华创电子股份有限公司
状态:离线 发送信件 在线交谈
姓名:熊莉(先生)
电话:010-84572690
手机:15810112307
地区:中国-北京市
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QQ:173370263