产品简介：

设备应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件，

适用2~8英寸硅片的扩散、氧化、退火、合金等工艺。

产品特点：

1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

2.采用高可靠性工业计算机，对炉温、阀门、送料舟的前进、后退、停止进行全自动控制,全部工艺过程实现自动化，具有高可靠性及抗干扰能力。

3.具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态。

4.具有多种工艺管路，可供用户方便选择。

5.具有多种报警功能及安全保护功能。

6.具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间。

7.恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度（可选择）