扩散炉主要技术指标 
1、工艺说明 
1.1氧化干氧工艺湿氧工艺去离子水、氢氧合成-内/外点火 
1.2扩散硼扩、磷扩液态源、固态源等 
1.3合金、退火等工艺 
 
2、系统组成主机加热体、石英/SiC管、功率组件等)、自动送片悬臂-SiC净化工作
台、气路气源系统气源柜、计算机控系统等组成 
 
3、控制方式手动送片/自动送片 
 
4、扩散炉配置可选
4.1仪表控制/计算机控制 
4.2工艺管水平结构1-4管 
4.3工艺规格2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片工艺腔
体为石英或碳化硅 
4.4恒温区长度1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圆装载悬臂式刚玉/碳化硅杆碳化硅桨 
4.6工作台有净化/无净化 
4.7工艺气路对应的工艺气路气路阀门组件采用国际优质品牌产品如SWAGELOK、PARK、
SANDVIK、CARDINAL等等MFC国际优质如MKS、UNIT、STEC等或国产优质 
 
5、扩散炉主要技术参数 
5.1工作温度2001300℃
5.2加热体控制点3/5点
5.3炉体恒温区450mm/600mm/800mm/1100mm 
5.4恒温区精度800℃/±0.5℃ 800℃/±1℃
5.5单点温度稳定性6001300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升温速度25℃/min