1、利用最新探测术为您的需求定制 ，表征所有样品
2、利用in-lens 双探测器获取形貌和成份信息
3、利用新一代的二次探测器，获取高达50%的信号图像
4、将扫描电子显微镜与基本分析相结合：一流的背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品
5、在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据
6、获益于8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果
技术指标：
1、分辨率：1.3nm@20KV 1.5nm@15KV 2.8nm@1KV
2、放大倍数：12 – 1,000,000x
3、加速电压：0.1-30KV
4、探针电流：4 pA - 20 nA (4pA-40nA 可选)
5、样品室：330 mm (φ) x 270 mm (h)
6、样品台：5轴优中心全自动
X = 125 mm
Y = 125 mm
Z = 50mm
T = 0 - 90°
R = 360°连续旋转