反应离子刻蚀机
KOH刻蚀机
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 二、设备结构及主要工艺概况

2.1外形结构图:见图纸

2.2台面布局图:操作台面高度为850mm,适合于身高为1550到1800mm人员操作。

 QQ截图20160718143129


2.3各槽位主要技术工艺:

 

槽体

工位1

工位2

工位0

介质

  KOH

DIW

DIW

功能

溢流

循环

抛动

   喷 淋

   快 排

注 水

溢 流

自 动

喷 水

 

材料

SUS316L

NPP

NPP

 

 

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